01.TC Wafer介紹

半導體精密製程中最重要的環節就是表面溫度,其要求誤差值往往1̊C只允許5% (以300MM為例),此精密量測工具皆仰賴國外廠商,若其中17個量測點只壞了一兩點即須報廢或是購買新品,造成使用成本極高。
目前翰陽電子已經成功開發出在國內自製或是維修的技術,可以有效節省客戶的成本支出。

02.TC補償導線

本公司熱電偶因採用高純度(99.9999%) 之鉑金以及高純度氧化鋁保護管及絕緣礙子,故能達到±0.25% 的高精度要求。此種熱電偶可在真空還原氧化氣體和金屬蒸氣中直接使用。穩定性好, 適合製作熱電偶標準件, 但熱電動勢小, 溫度誤差值主要來自於補償導線。

TC Wafer製作加工流程

TC wafer測試平台

TC wafer type

客製化TC產品